ХАРАКТЕРИСТИКИ
Температура окружающей среды
- +10 до +35 °C
Type
- Head Model incorporating backlighting/programmable ring-illumination unit/light probe unit
Ambient temperature
- +10 to +35 °C
Relative humidity
- 20 to 80 % RH (No condensation)
Тип
- Головной блок, включающий подсветку/программируемый блок кольцевой подсветки/блок светового зонда
Относительная влажность
- 20 до 80 % RH (без конденсации)
Напряжение питания
- 100 до 240 В переменного тока 50/60 Гц
Overvoltage category
- II
Категория перенапряжения
- II
Power consumption
- 430 VA or lower
Потребляемая мощность
- 430 ВА или ниже
Display
- 10. 4” LCD monitor (XGA: 1024 ? 768)
Дисплей
- 10.4” ЖК-монитор (XGA: 1024 × 768)
Image sensor
- 1” 6.6 mega pixel monochrome CMOS
Receiver lens
- Double telecentric lens
Image measurement Field of view
- Wide-field measurement mode: 200 mm ? 200 mm (4 ? R50) High-precision measurement mode: 125 ? 125 mm
Minimum display unit
- 0.1 µm
Repeatability W/o stage movement
- Wide-field measurement mode: ±1 µm High-precision measurement mode: ±0.5 µm
With stage movement
- Wide-field measurement mode: ±2 µm High-precision measurement mode: ±1.5 µm
Measurement accuracy (±2) W/o binding
- Wide-field measurement mode: ±5 µm*1 High-precision measurement mode: ±2 µm*2
With binding
- Wide-field measurement mode: ± (7 + 0.02 L) µm*3 High-precision measurement mode: ± (4 + 0.02L) µm*4
Light probe Measurement Measurable area (XY)
- 90 ? 90 mm
Maximum measurement depth
- 30 mm
Light probe diameter
- O3 mm
Measuring force
- 0.015 N
Measurement accuracy
- ± (8 + 0.02 L) µm*6
External remote input
- Non-voltage input (with and without contact)
External output OK/NG/FAIL/MEAS
- PhotoMos output Rated load 24 VDC 0.5 A ON resistance 50 m? or lower
Interface LAN
- RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
USB 2.0 series A
- 6 портов (спереди: 2, сзади: 4)
Record Hard disk drive
- 500 GB
Illumination system Transparent
- Telecentric transparent illumination
Ring
- Four division, multi-angle illumination (electric) Slit ring (directivity) illumination (electric)
XY stage Moving range
- 100 ? 100 mm (electric)
Z stage Moving range
- 75 mm (electric)
Power supply Power voltage
- 100 to 240 VAC 50/60 Hz
Датчик изображения
- 1” 6.6 мегапиксельный монохромный CMOS
Объектив приемника
- Двойной телецентрический объектив
Минимальная единица отображения
- 0.1 мкм
Повторяемость без движения стола
- Широкопольный режим: ±1 мкм; Высокоточный режим: ±0.5 мкм
Повторяемость с движением стола
- Широкопольный режим: ±2 мкм; Высокоточный режим: ±1.5 мкм
Внешний удаленный вход
- Бесконтактный вход (с контактом и без)
Внешний выход OK/NG/FAIL/MEAS
- ФотоМОП выход, номинальная нагрузка 24 В постоянного тока 0.5 А, сопротивление ON 50 мОм или ниже
Интерфейс LAN
- RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
Диапазон перемещения XY стола
- 100 × 100 мм (электрический)
Диапазон перемещения Z стола
- 75 мм (электрический)
Environmental resistance Pollution degree
- 2
Поле зрения измерения изображения
- Широкопольный режим: 200 мм × 200 мм (4 × R50); Высокоточный режим: 125 × 125 мм
Измерение световым зондом
- Измеряемая область (XY): 90 × 90 мм; Максимальная глубина измерения: 30 мм; Диаметр светового зонда: 3 мм; Измерительное усилие: 0.015 Н; Повторяемость: ±2 мкм; Точность измерения: ± (8 + 0.02 L) мкм
Система освещения
- Прозрачная: телецентрическая прозрачная подсветка; Кольцевая: четырехсекционная, многоугольная подсветка (электрическая), щелевая кольцевая (направленная) подсветка (электрическая)
Выдерживаемая нагрузка XY стола
- 5 кг
Точность измерения (±2) без привязки
- Широкопольный режим: ±5 мкм; Высокоточный режим: ±2 мкм
Точность измерения (±2) с привязкой
- Широкопольный режим: ± (7 + 0.02 L) мкм; Высокоточный режим: ± (4 + 0.02L) мкм
Жесткий диск для записи
- 500 ГБ
