ХАРАКТЕРИСТИКИ
Температура окружающей среды -
+10 до +35 °C
Type -
Head Model incorporating backlighting/programmable ring-illumination unit/light probe unit
Ambient temperature -
+10 to +35 °C
Relative humidity -
20 to 80 % RH (No condensation)
Тип -
Головной блок, включающий подсветку/программируемый блок кольцевой подсветки/блок светового зонда
Относительная влажность -
20 до 80 % RH (без конденсации)
Overvoltage category -
II
Категория перенапряжения -
II
Power consumption -
430 VA or lower
Потребляемая мощность -
430 ВА или ниже
Display -
10. 4” LCD monitor (XGA: 1024 ? 768)
Дисплей -
10.4” ЖК-монитор (XGA: 1024 × 768)
Image sensor -
1” 6.6 mega pixel monochrome CMOS
Receiver lens -
Double telecentric lens
Image measurement Field of view -
Wide-field measurement mode: 200 mm ? 200 mm (4 ? R50) High-precision measurement mode: 125 ? 125 mm
Minimum display unit -
0.1 µm
Repeatability W/o stage movement -
Wide-field measurement mode: ±1 µm High-precision measurement mode: ±0.5 µm
With stage movement -
Wide-field measurement mode: ±2 µm High-precision measurement mode: ±1.5 µm
Measurement accuracy (±2) W/o binding -
Wide-field measurement mode: ±5 µm*1 High-precision measurement mode: ±2 µm*2
With binding -
Wide-field measurement mode: ± (7 + 0.02 L) µm*3 High-precision measurement mode: ± (4 + 0.02L) µm*4
Light probe Measurement Measurable area (XY) -
90 ? 90 mm
Maximum measurement depth -
30 mm
Light probe diameter -
O3 mm
Measuring force -
0.015 N
Measurement accuracy -
± (8 + 0.02 L) µm*6
External remote input -
Non-voltage input (with and without contact)
External output OK/NG/FAIL/MEAS -
PhotoMos output Rated load 24 VDC 0.5 A ON resistance 50 m? or lower
Interface LAN -
RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
USB 2.0 series A -
6 портов (спереди: 2, сзади: 4)
Record Hard disk drive -
500 GB
Illumination system Transparent -
Telecentric transparent illumination
Ring -
Four division, multi-angle illumination (electric) Slit ring (directivity) illumination (electric)
XY stage Moving range -
100 ? 100 mm (electric)
Z stage Moving range -
75 mm (electric)
Power supply Power voltage -
100 to 240 VAC 50/60 Hz
Датчик изображения -
1” 6.6 мегапиксельный монохромный CMOS
Объектив приемника -
Двойной телецентрический объектив
Минимальная единица отображения -
0.1 мкм
Повторяемость без движения стола -
Широкопольный режим: ±1 мкм; Высокоточный режим: ±0.5 мкм
Повторяемость с движением стола -
Широкопольный режим: ±2 мкм; Высокоточный режим: ±1.5 мкм
Внешний удаленный вход -
Бесконтактный вход (с контактом и без)
Внешний выход OK/NG/FAIL/MEAS -
ФотоМОП выход, номинальная нагрузка 24 В постоянного тока 0.5 А, сопротивление ON 50 мОм или ниже
Интерфейс LAN -
RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
Диапазон перемещения XY стола -
100 × 100 мм (электрический)
Диапазон перемещения Z стола -
75 мм (электрический)
Environmental resistance Pollution degree -
2
Поле зрения измерения изображения -
Широкопольный режим: 200 мм × 200 мм (4 × R50); Высокоточный режим: 125 × 125 мм
Измерение световым зондом -
Измеряемая область (XY): 90 × 90 мм; Максимальная глубина измерения: 30 мм; Диаметр светового зонда: 3 мм; Измерительное усилие: 0.015 Н; Повторяемость: ±2 мкм; Точность измерения: ± (8 + 0.02 L) мкм
Система освещения -
Прозрачная: телецентрическая прозрачная подсветка; Кольцевая: четырехсекционная, многоугольная подсветка (электрическая), щелевая кольцевая (направленная) подсветка (электрическая)
Выдерживаемая нагрузка XY стола -
5 кг
Точность измерения (±2) без привязки -
Широкопольный режим: ±5 мкм; Высокоточный режим: ±2 мкм
Точность измерения (±2) с привязкой -
Широкопольный режим: ± (7 + 0.02 L) мкм; Высокоточный режим: ± (4 + 0.02L) мкм
Жесткий диск для записи -
500 ГБ