ХАРАКТЕРИСТИКИ
Type -
Head Contact Height Measurement Unit
Тип -
Измерительная система с контактным измерением высоты
Рабочая температура окружающей среды -
+10°C до 35°C
Current consumption -
430 VA or lower
Потребляемый ток -
430 ВА или ниже
Display -
10. 4” LCD monitor (XGA: 1024 ? 768)
Дисплей -
10.4” ЖК-монитор (XGA: 1024 x 768)
Operating ambient humidity -
20% RH to 80% RH (no condensation)
Рабочая влажность окружающей среды -
20% RH до 80% RH (без конденсации)
Image sensor -
1” 6.6 mega pixel monochrome CMOS
Receiver lens -
Double telecentric lens
Image measurement Field of view -
Wide-field measurement mode: 300 mm ? 200 mm (4? R50) High-precision measurement mode: 225 ? 125 mm
Minimum display unit -
1 µm
Repeatability W/o stage movement -
Wide-field measurement mode: ±1 µm High-precision measurement mode: ±0.5 µm
With stage movement -
Wide-field measurement mode: ±2 µm High-precision measurement mode: ±1.5 µm
Measurement accuracy (±2) W/o binding -
Wide-field measurement mode: ±5 µm*1 High-precision measurement mode: ±2 µm*2
With binding -
Wide-field measurement mode: ±(7 + 0.02 L) µm*3 High-precision measurement mode: ± (4 + 0.02 L) µm*4
Light probe Measurement Measurable area (XY) -
190 ? 90 mm
Maximum measurement depth -
30 mm
Light probe diameter -
O3 mm
Measurement accuracy -
±7.5 µm*9
External remote input -
Non-voltage input (with and without contact)
External output OK/NG/FAIL/MEAS -
PhotoMos output Rated load 24 VDC 0.5 A ON resistance 50 m? or lower
Interface LAN -
RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
USB 2.0 series A -
6 ports (front: 2, rear: 4)
Record Hard disk drive -
500 GB
Illumination system Transparent -
Telecentric transparent illumination
Ring -
Four division, multi-angle illumination (electric) Slit ring (directivity) illumination (electric)
XY stage Moving range -
200 ? 100 mm (electric)
Z stage Moving range -
75 mm (electric)
Power supply Power voltage -
100–240 VAC, 50/60 Hz
Environmental resistance Operating ambient temperature -
+10°C to 35°C
Датчик изображения -
1” 6.6 мегапиксельный монохромный CMOS
Минимальная единица отображения -
1 мкм
Внешний удаленный вход -
Беспотенциальный вход (с контактом и без)
Внешний выход OK/NG/FAIL/MEAS -
ФотоМОП выход, номинальная нагрузка 24 В постоянного тока 0.5 А, сопротивление включения 50 мОм или ниже
Интерфейс LAN -
RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
Интерфейс USB 2.0 Type A -
6 портов (спереди: 2, сзади: 4)
Диапазон перемещения XY-стола -
200 x 100 мм (электрический)
Диапазон перемещения Z-стола -
75 мм (электрический)
Поле зрения измерения изображения -
Широкопольный режим: 300 x 200 мм (4x R50); Высокоточный режим: 225 x 125 мм
Точность измерения (±2) без привязки -
Широкопольный режим: ±5 мкм; Высокоточный режим: ±2 мкм
Точность измерения (±2) с привязкой -
Широкопольный режим: ±(7 + 0.02 L) мкм; Высокоточный режим: ±(4 + 0.02 L) мкм
Height Measurement Measurement range -
0 to 75 mm
Measurement accuracy (XY) -
±0.2 mm*7
Measurable area (XY) -
Wide-field measurement mode: 145 ? 95 mm High-precision measurement mode: 107.5 ? 95 mm
Объектив -
Двойной телецентрический объектив
Повторяемость без перемещения стола -
Широкопольный режим: ±1 мкм; Высокоточный режим: ±0.5 мкм
Повторяемость с перемещением стола -
Широкопольный режим: ±2 мкм; Высокоточный режим: ±1.5 мкм
Измеряемая область светового зонда (XY) -
190 x 90 мм
Максимальная глубина измерения светового зонда -
30 мм
Диаметр светового зонда -
3 мм
Измерительная сила светового зонда -
0.3 Н
Повторяемость светового зонда -
±2 мкм
Точность измерения светового зонда -
±7.5 мкм
Диапазон измерения высоты -
0 до 75 мм
Точность измерения высоты (XY) -
±0.2 мм
Измеряемая область высоты (XY) -
Широкопольный режим: 145 x 95 мм; Высокоточный режим: 107.5 x 95 мм
Накопитель -
Жесткий диск 500 ГБ
Система освещения прозрачная -
Телецентрическое прозрачное освещение
Система освещения кольцевая -
Четырехсекционное, многоугольное освещение (электрическое); Щелевое кольцевое (направленное) освещение (электрическое)
Выдерживаемая нагрузка XY-стола -
7.5 кг