ХАРАКТЕРИСТИКИ
Type
- Head Contact Height Measurement Unit
Тип
- Измерительная система с контактным измерением высоты
Рабочая температура окружающей среды
- +10°C до 35°C
Current consumption
- 430 VA or lower
Напряжение питания
- 100–240 В переменного тока, 50/60 Гц
Потребляемый ток
- 430 ВА или ниже
Display
- 10. 4” LCD monitor (XGA: 1024 ? 768)
Дисплей
- 10.4” ЖК-монитор (XGA: 1024 x 768)
Operating ambient humidity
- 20% RH to 80% RH (no condensation)
Рабочая влажность окружающей среды
- 20% RH до 80% RH (без конденсации)
Image sensor
- 1” 6.6 mega pixel monochrome CMOS
Receiver lens
- Double telecentric lens
Image measurement Field of view
- Wide-field measurement mode: 300 mm ? 200 mm (4? R50) High-precision measurement mode: 225 ? 125 mm
Minimum display unit
- 1 µm
Repeatability W/o stage movement
- Wide-field measurement mode: ±1 µm High-precision measurement mode: ±0.5 µm
With stage movement
- Wide-field measurement mode: ±2 µm High-precision measurement mode: ±1.5 µm
Measurement accuracy (±2) W/o binding
- Wide-field measurement mode: ±5 µm*1 High-precision measurement mode: ±2 µm*2
With binding
- Wide-field measurement mode: ±(7 + 0.02 L) µm*3 High-precision measurement mode: ± (4 + 0.02 L) µm*4
Light probe Measurement Measurable area (XY)
- 190 ? 90 mm
Maximum measurement depth
- 30 mm
Light probe diameter
- O3 mm
Measurement accuracy
- ±7.5 µm*9
External remote input
- Non-voltage input (with and without contact)
External output OK/NG/FAIL/MEAS
- PhotoMos output Rated load 24 VDC 0.5 A ON resistance 50 m? or lower
Interface LAN
- RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
USB 2.0 series A
- 6 ports (front: 2, rear: 4)
Record Hard disk drive
- 500 GB
Illumination system Transparent
- Telecentric transparent illumination
Ring
- Four division, multi-angle illumination (electric) Slit ring (directivity) illumination (electric)
XY stage Moving range
- 200 ? 100 mm (electric)
Z stage Moving range
- 75 mm (electric)
Power supply Power voltage
- 100–240 VAC, 50/60 Hz
Environmental resistance Operating ambient temperature
- +10°C to 35°C
Датчик изображения
- 1” 6.6 мегапиксельный монохромный CMOS
Минимальная единица отображения
- 1 мкм
Внешний удаленный вход
- Беспотенциальный вход (с контактом и без)
Внешний выход OK/NG/FAIL/MEAS
- ФотоМОП выход, номинальная нагрузка 24 В постоянного тока 0.5 А, сопротивление включения 50 мОм или ниже
Интерфейс LAN
- RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)
Интерфейс USB 2.0 Type A
- 6 портов (спереди: 2, сзади: 4)
Диапазон перемещения XY-стола
- 200 x 100 мм (электрический)
Диапазон перемещения Z-стола
- 75 мм (электрический)
Поле зрения измерения изображения
- Широкопольный режим: 300 x 200 мм (4x R50); Высокоточный режим: 225 x 125 мм
Точность измерения (±2) без привязки
- Широкопольный режим: ±5 мкм; Высокоточный режим: ±2 мкм
Точность измерения (±2) с привязкой
- Широкопольный режим: ±(7 + 0.02 L) мкм; Высокоточный режим: ±(4 + 0.02 L) мкм
Height Measurement Measurement range
- 0 to 75 mm
Measurement accuracy (XY)
- ±0.2 mm*7
Measurable area (XY)
- Wide-field measurement mode: 145 ? 95 mm High-precision measurement mode: 107.5 ? 95 mm
Объектив
- Двойной телецентрический объектив
Повторяемость без перемещения стола
- Широкопольный режим: ±1 мкм; Высокоточный режим: ±0.5 мкм
Повторяемость с перемещением стола
- Широкопольный режим: ±2 мкм; Высокоточный режим: ±1.5 мкм
Измеряемая область светового зонда (XY)
- 190 x 90 мм
Максимальная глубина измерения светового зонда
- 30 мм
Диаметр светового зонда
- 3 мм
Измерительная сила светового зонда
- 0.3 Н
Повторяемость светового зонда
- ±2 мкм
Точность измерения светового зонда
- ±7.5 мкм
Диапазон измерения высоты
- 0 до 75 мм
Точность измерения высоты (XY)
- ±0.2 мм
Измеряемая область высоты (XY)
- Широкопольный режим: 145 x 95 мм; Высокоточный режим: 107.5 x 95 мм
Накопитель
- Жесткий диск 500 ГБ
Система освещения прозрачная
- Телецентрическое прозрачное освещение
Система освещения кольцевая
- Четырехсекционное, многоугольное освещение (электрическое); Щелевое кольцевое (направленное) освещение (электрическое)
Выдерживаемая нагрузка XY-стола
- 7.5 кг